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ABM全自研光刻机量产项目落户佛山！加速光刻机国产化突围9月30日，佛山市与ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.（以下简称“A...
2025-10-01 阅读（923） 标签：半导体光刻技术 -
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光刻机国产化再落关键一子！ABM全自研光刻机量产项目落户佛山
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2025-10-01 阅读（824） 标签：半导体光刻技术 -
绕开ASML专利！俄自主EUV光刻技术路线nm！这份规划分三个阶段推进：2026至2028年研发40纳米制程设备，配双反射镜系统，套刻精...
2025-10-01 阅读（936） 标签：半导体光刻技术
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