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湘潭宏大真空突破技术壁垒!
发布于 2026-06-17 20:19 阅读()
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科技部 金融监管总局 工业和信息化部 国家知识产权局印发《关于加快推动科技保险高质量发展 有力支撑高水平科技自立自强的若干意见》的通知
记者近日从湘潭宏大真空技术股份有限公司了解到,该企业自主研发的多室光学磁控溅射镀膜机、卧式双面磁控溅射镀膜机两款高端真空镀膜装备,经权威机构鉴定,核心指标达到国际领先水平,现已启动量产,即将交付国内多家头部面板及新能源企业。
真空镀膜装备是高端制造核心“工业母机”,可在玻璃、金属等基材表面镀制纳米级薄膜,有效提升手机屏耐磨性、光伏板发电效率。长期以来,国内高端真空镀膜装备市场被国外垄断,国产相关产业发展受限。
此次两款新设备精准破解行业两大技术难题。针对多层精密镀膜分段加工易交叉污染、良品率低的问题,多室光学磁控溅射镀膜机实现单机真空密闭一体化连续镀膜,一次性完成多层膜层沉积,大幅提升镀膜均匀度与产品良品率。针对大尺寸超薄基板单面镀膜易翘曲变形的痛点,卧式双面磁控溅射镀膜机首创双面同步镀膜工艺,平衡基材正反应力,彻底解决翘曲问题,同时攻克镀膜打弧、制程不稳定等技术瓶颈。
宏大真空目前已累计申请专利超300项,成功获批省级真空镀膜科技成果转化中试基地,新增省级纳米膜层新材料研发团队,建成全链条创新体系。
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