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　　纳米加工技术 1前言 人类每一次加工和制造技术的发展， ， ， ，， ,先进技术取代落后技术是客观发展规律。,其目的是服务于科学研究或工业产品开发与生产。。。,将电路尺寸做得越来越小始终是工业界不懈追求的目标。 50纳米。10 纳米。。45 纳米。,后面有极紫外技术或纳米压印技术和电子束投影曝光技术。。50 纳米,但在工业生产中,经济因素往往是某一技术的生命力的决定因素。X射线光刻技术。X。。 X射线光刻技术。,包括微电子机械,微流体,微光学系统,为纳米加工技术的发展开辟了广阔的天地。,但由于微系统使用的材料的多样性,服务于微系统制造的加工技术也多种多样。,以实现与集成电路的完全集成。 。。。( foundry) 工厂去加工生产。 ,所得到的芯片会具有相同的性能。。。。。,小批量多品种是微系统器件工业生产的特点。。。。。10 纳米。。,这些加工技术已经能够满足纳米器件的制作与研究。 。,必须开发高生产率低成本的纳米加工技术。,纳米加工技术还有无限的发展潜力。 新颖的加工技术不断出现。 同时,巧妙地利用现有加工技术也可以帮助开发新颖的纳米器件与系统。50年是纳米技术蓬勃发展的时代。(Feynman)博士在1959年一次演讲中提出的著名预言作为本文的结束语,这就是“ There is plenty of room at the bottom”。 6参考文献 [1] 吴拓. 开发机械制

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