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中国开辟光刻技术新道路达到06纳米西方拦不住中国芯片了!

发布于 2025-08-18 21:26 阅读(

  

中国开辟光刻技术新道路达到06纳米西方拦不住中国芯片了

  光刻机一直是中国芯片之痛,原因就是某国一直阻止光刻机巨头ASML将先进的EUV光刻机卖给中国,由此导致中国利用现有的光刻机发展到7纳米之后,前进的难度异常大,为此中国一直试图自己研发先进的光刻机,或是发展新的芯片制造技术。

  研发先进的光刻机不容易,因为光刻机本身就是一个庞大的产业链,即使是ASML也需要与全球5000多家企业合作,德国企业提供镜片,美国提供光学技术等等,由此ASML才能生产出高度精密的EUV光刻机。

  中国如果发展EUV光刻机就得发展自己的光刻机产业链,这方面确实也已取得了一些突破性进展,然而即使在其中几个关键技术取得突破,还需要在其他方面取得突破,难度极大,然而中国芯片却无法等待,毕竟全球的先进芯片已发展到2纳米工艺了。

  为此研发新的技术路线就提上了日程,而这方面日本也给中国提供了启示,日本曾主导光刻机市场,不过在浸润式光刻机和EUV光刻机已落后于ASML,这也导致日本光刻机产业的衰落,据悉目前日本光刻机主要是干式光刻机,占有的市场份额已不到四成,而ASML则占据了六成。

  拥有光刻机技术的日本光刻机产业当然不甘心由ASML独占这个市场,为此日本佳能开发出NIL工艺,NIL工艺可以发展到5纳米,而且佳能的NIL工艺已被存储芯片企业日本铠侠采用,证明了确实可以开发出无需光刻机的芯片制造技术。

  对于ASML来说,当前的光刻机技术似乎也已到了尽头,ASML就曾表示它当下的最先进光刻机--2纳米光刻机可能就是最后一代光刻机,这种光刻技术已很难进一步进化。

  事实上,全球芯片行业也在考虑其他芯片制造技术,其中电子束光刻就是其中之一,这次传出的中国开发新的芯片制造技术正是电子束光刻技术。

  据悉中国浙江这家企业开发的电子束光刻技术可以在硅片上刻出0.6纳米的精度和8纳米的线宽,这已是相当先进的技术,比当下中国以现有的DUV光刻机生产的7纳米工艺先进得多。

  此外采用电子束光刻技术可以比EUV光刻机进一步降低生产成本,当前的光刻机技术生产芯片耗电极大,台积电的工厂耗电量就占了中国台湾省大约8%的电力,以至于业界担忧台积电进一步开发更先进的工艺,中国台湾省未必可以给台积电供给足够的电力了,而电子束光刻技术消耗的电力远比现有的光刻机少。

  或许有人质疑浙江这家企业开发的电子束光刻技术较为落后,线纳米落后,其实不然,从28纳米之后全球芯片制造企业的先进工艺都是等效工艺了,台积电的7纳米工艺就与Intel的14纳米线宽差不多,所以台积电的2纳米工艺线纳米差不多。

  更重要的是电子束光刻技术不仅可以为当下的硅基芯片用,还可以用于未来的量子芯片、K8凯发科技光子芯片等技术,而量子芯片、光子芯片等被视为可能替代当下硅基芯片的技术。

  可以说中国在电子光刻技术方面的突破性进展,不仅将补上中国在现有硅基芯片技术上芯片制造技术短板,更有助于中国加速量子芯片、光子芯片的商用化,进而实现芯片技术的弯道超车。返回搜狐,查看更多