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　　1 之 先进制造工艺技术 先进制造系统 1 微纳制造 1.1 微纳制造的发展 1.2 微系统的关键技术 1.3 纳米加工技术 1.4 微纳制造例子 2 之 先进制造工艺技术 先进制造系统 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学 、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础， 用批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处 理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm 10mm的微小机械，1m1mm的微机械，1nm10m的纳米机械 。 2）纳米技术 是指纳米级0.1nm100nm的材料、设计、 加工、测量、控制和产品的技术。 本节将主要介绍纳米加工技术。 1.1 微纳制造的发展 1. 微纳制造的概念 3 之 先进制造工艺技术 先进制造系统 微型机械将逐步走向实用化，对工农业、信息、环境、生 物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。 如把传感器和调配药剂量的“药剂师”集于一身，制成微型“ 智能药丸”，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和清除人 体内的癌细胞。微系统可用于视网膜手术、修补血管等。 在工业领域

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