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国内最大高端半导体DUV光刻胶核心主材基地投产!!

发布于 2026-04-20 01:15 阅读(

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国内最大高端半导体DUV光刻胶核心主材基地投产!

  -来自彤程,龙图光罩,SEMI,复旦大学,南开大学,暨南大学,苏州实验室,上海光源,欣奕华,中电科48所,安捷伦,湖北菲利华,新维度微纳,四川大学,优尼康等单位的专家将作精彩报告

  4月17日,位于合肥新站高新区的威迈芯材(合肥)半导体有限公司正式投产。

  该项目位于新站高新区龙子湖路与颍州路交叉口,总投资3亿元,占地面积约50亩,规划年产能100吨,旨在打造国内最大的高端半导体DUV级别(ArFi/ArF/KrF)光刻胶核心主材料量产基地,量产产品包括光致产酸剂(PAG)、树脂(Resin)、光引发剂(PI)等。

  本次顺利投产,将进一步提高关键原材料的国产化,为合肥半导体产业注入重要新增力量。

  威迈芯材总部位于苏州,同时在韩国设有两座量产工厂。公司长期深耕光刻胶核心主材料领域,技术层面已实现7/14纳米制程(ArFi/ArF)的量产突破,成功研发并交付数百款产品,基本完成对国内主流半导体光刻胶龙头企业的导入与全面覆盖。

  当前,新站高新区正深入实施“2411”产业发展战略,汇聚了京东方、维信诺、晶合集成等行业龙头。威迈合肥工厂量产的高端光刻材料,正是连接“芯片”与“屏幕”的关键纽带,有助于推动新站高新区“芯屏”产业从物理集聚迈向化学融合。

  下一步,新站高新区将持续做强“芯屏”主导产业、提升产业链韧性与安全水平,全力服务企业创新发展、稳产达效,以优质营商环境助力更多关键材料项目落地成长,共同夯实世界级新型显示和集成电路产业集群根基。

  随着半导体工艺节点向2nm及以下推进,下一代光刻技术已成为行业焦点。主要方向包括高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻、纳米压印光刻、电子束光刻、定向自组装(DSA)和X射线光刻等。这些技术旨在提升分辨率、降低成本并提高产量。2026年,高NA EUV已进入高容量制造阶段,而NIL和X射线光刻作为潜在颠覆者,正加速研发。

  进入2026年,中国对高端光掩模的需求持续强劲增长,但技术研发、生产能力及产业链整合方面仍面临高成本、技术复杂性和供应链依赖等诸多挑战。全球半导体光掩模版市场在2018年至2024年间从40.4亿美元增长至51亿美元,年复合增长率达4.0%。预计到2030年,该市场规模将进一步扩大至约80亿美元。亚化咨询研究认为我国2025年第三方掩模版市场规模占比为70%左右,预计2030年中国掩模版市场规模有望达到120亿元。

  全球光掩模版市场主要由Photronics、日本凸版(Toppan)和大日本印刷(DNP)三大企业主导,市场占有率超过70%。而在中国市场,路维光电、清溢光电、龙图光罩等本土企业正在不断提升其市场竞争力,并在国产化替代方面取得突破。

  亚化咨询预计2026年市场规模有望达到100亿元。在ArF光刻胶领域,国内厂商正在加快研发进程,并取得了核心突破,如南大光电实现ArF光刻胶量产。国内一些光刻胶龙头企业如上海新阳、南大光电、容大感光、广信材料、晶瑞电材等,在光刻胶的研发和生产方面取得了显著进展。据亚化咨询最新行业调研,国内领先的光刻胶新锐企业还包括珠海基石(2022年成立)、国科天骥(2019年成立)等。国内光掩模与光刻胶产业发展正在提速,技术进步成为产业发展的重要推动力。

  第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开。本次论坛由亚化咨询主办。此次会议将汇聚行业的领军企业、机构的专家,探讨下一代光刻技术发展方向,中国光掩模版与光刻胶产业的技术进展与应用,市场机遇与挑战,和产业发展前景。