咨询电话: 13704000378
半导体光刻工艺技术基础!
发布于 2025-08-18 21:30 阅读()
半导体五大特性∶电阻率特性,导电特性,光电特性,负的电阻率温度特性,整流特性。
半导体的应用,按照其制造技术可以分为:集成电路(IC)器件,分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类
1833年,英国巴拉迪最先发现硫化银的电阻随着温度的上升而降低(负电阻率温度特性)。这是半导体现象的首次发现。
1839年,法国的贝克莱尔发现半导体和电解质接触形成的结,在光照下会产生一个电压--光生伏特效应,这是被发现的半导体的第二个特征。
1874年,德国的布劳恩观察到某些硫化物的电导与所加电场的方向有关,即它的导电有方向性,这就是半导体的整流效应,也是半导体所特有的第三种特性。
1873年,英国的史密斯发现硒晶体材料在光照下电导增加的光电导效应,这是半导体又一个特有的性质。
IC:用硅的体电阻做电阻,用P-N结形成电容;所有有源和无源器件器件都集合到一个半导体材料上。
1958年9月,TI公司的JackS.Kilby第一次将所有元器件(12个元件)都集合到一个的半导体材料上,产生第一块集成电路。2000年度荣获诺贝尔物理学奖。
在wafer(晶圆)预检侧完毕被送到FAB的工艺线上后,先后在wafer表面生长出一层致密的SiO2膜和另外一层Si3N4膜,分别称为PADOxide和Nitride。
然后在两层膜的表面甩上光阻、曝光、显影,进而在wafer表面形成光阻的电路图形。
随后进入光阻图形转换至晶圆表面阶段:通过各种刻蚀工艺转换图形至晶圆表面。最后,将作为遮挡层的光阻(PR)剥离。到此第一层工艺完成。
新闻资讯
-
半导体光刻工艺技术基础 08-18
-
涨停雷达:光刻机+光通信+半导 08-18
-
涨停雷达:光刻胶+光引发剂+半 08-18
-
突破!首台国产商业电子束光刻机 08-18
-
德国专家:中国科技再度突破光刻 08-18
-
2025光刻机行业深度:核心技 08-17
-
路维光电股价上涨605% 电子 08-17
-
发生了什么?特朗普全面暂停12 08-17