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华为申请可减少光刻刻蚀次数的半导体器件等相关专利 减少光刻刻蚀次数!
发布于 2025-08-21 08:16 阅读()
金融界2025年8月20日消息,国家知识产权局信息显示,华为技术有限公司申请一项名为“半导体器件、半导体器件封装结构、电子设备”的专利,公开号CN120513022A,申请日期为2024年02月。
专利摘要显示,本申请提供一种半导体器件、半导体器件封装结构、半导体器件的制备方法,以及电子设备。涉及半导体深槽电容器技术领域。提供一种可以减少光刻刻蚀次数的深槽电容器结构。该半导体器件包括基底和设置在基底内的电容器,基底内开设有多个槽,这些多个槽的槽宽不同,槽宽较大的槽可以作为功能槽,容纳电容器的各个电极和电容介质层,槽宽较小的槽可以容纳部分电极,即就是通过设置宽窄不同的槽,使得不同槽中的电极厚度不一样,那么,经一次光刻刻蚀之后,可以使得窄槽中的电极暴露出来,相比多次光刻刻蚀,本申请可以明显的减少光刻刻蚀次数,尤其是电极层数较多时,简化工艺制备流程的优势更加突出。
天眼查资料显示,华为技术有限公司,成立于1987年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4104113.182万人民币。通过天眼查大数据分析,华为技术有限公司共对外投资了52家企业,参与招投标项目5000次,财产线条,此外企业还拥有行政许可1570个。
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