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　　1）微系统是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术来完毕信息获取、处理及执行等功能。微系统按特性尺寸范围可分为三类：1mm~10mm的微小机械，1μm~1mm的微机械，1nm~10μm的纳米机械。

　　2）纳米技术是指纳米级0.1nm~100nm的材料、设计、加工、测量、控制和产品的技术。

　　本节将重要简介纳米加工技术。;;1.2微系统的关键技术;1.3纳米加工技术;1）光刻电铸（LIGA）技术;2）半导体加工技术;3）集成电路（IC）技术;4）超微机械加工和电火花线）分子装配技术;目前，集成电路已经从20世纪60年代的每个芯片上仅几十个器件发展到目前的每个芯片上可包括约10亿个器件，其集成度每3年提高4倍。这一增长速度不仅导致了半导体市场在过去30年中以平均每年约15%的速度增长，并且对现代经济、国防和社会也产生了巨大的影响。集成电路之因此能飞速发展，光刻技术的支持起到了极为关键的作用。;电子束光刻的原理如图2所示，在由掩膜（其上有所需集成电路图形）、光致抗蚀剂涂层和半导体基片构成的三层材料上，运用电子束透射掩膜，照射到光致抗蚀剂涂层上，由于化学反应，经显影后，在光致抗蚀剂涂层上就形成与掩膜相似的所需线路图形。随之，在基片上形成电路有两种处理措施：①用离子束溅射清除，可得到凹形电路。②用金属蒸镀措施，可形成凸形电路。;1.电子束光刻加工技术;2.微型机械昆虫;3.世界最小的微型机械人;;5.微型机械零件“自组织化”装配技术;根据美国康乃尔大学奈米生物科技研究小组的研究，已成功地制造出与病毒大小差不多的分子马达。该生物分子马达是以200nm长、80nm直径宽的金属镍为轴，并以分子(F1-腺嘌呤核甘三磷酸合成酵素)作为马达，而以长750nm、直径为150nm的镍作为螺旋桨。据研究人员的观测，该分子马达被浸泡至ATP溶液中后，运用生物分子细胞内的化学反应，以ATP作为能源，每秒转速可达8圈，并可持续转动2.5小时。;7.纳米齿轮NanoGear;8.原子操纵术;8.原子操纵术;9.纳米材料的莲花效应;9.纳米材料的莲花效应;

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