K8（凯发中国）凯发-天生赢家·一触即发

　　国家知识产权局信息显示，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司申请一项名为“一种黑硅纳米森林结构及其制备方法与应用”的专利，公开号CN121250340A，申请日期为2025年9月。

　　专利摘要显示，k8凯发集团本发明属于半导体材料制造技术领域，k8凯发集团具体涉及一种黑硅纳米森林结构及其制备方法与应用。本发明通过PECVD沉积富硅氮化硅薄膜，再利用VHF通入气态HF进行化学腐蚀，形成均匀的硅草结构。该方法无需金属催化剂和掩模，消除金属污染和物理损伤，工艺简单可控，适用于大面积黑硅的工业化生产。

　　天眼查资料显示，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司，成立于2020年，位于济南市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3300万人民币。通过天眼查大数据分析，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司参与招投标项目19次，专利信息11条，此外企业还拥有行政许可4个。

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