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　　据美国媒体Tom’s Hardware转引英国《金融时报》的消息，中国的晶圆厂现在正想办法，通过升级现有进口光刻机的关键部件，来提高芯片生产效率。

　　这些设备大多是荷兰ASML公司的浸润式光刻机，也包括一部分比较先进的NXT系列。

　　由于美国管控，EUV光刻机已经多年没法卖给中国，连先进的浸润式DUV光刻机也被禁止出口。

　　面对这种局面，中国企业就把心思放在手头现有的设备上，通过技术升级，把原本的光刻机调校得更精确、运行更稳定、产能更高，这样可以让买来的设备用得更久、更值。

　　从ASML的财报来看，中国大陆曾是 ASML 的重要市场，2020-2022 年期间，ASML 向中国大陆出口的 DUV 光刻机销量占其全球 DUV 总销量的 30%-35%，并非 “全球销量的 40% 以上”，且目前仍是 ASML 第二大市场（仅次于中国台湾）。

　　即使现在不让卖最新的设备，中国大陆依然是ASML的第二大市场，仅次于中国台湾。

　　美国之所以让荷兰封锁EUV光刻机，就是不想让中国掌握最先进的芯片制造技术。不过，虽然EUV最先进，但其实浸润式DUV光刻机通过“多重曝光”等技术，也能做出7纳米级别的芯片。

　　正因为如此，中国企业早在几年前就大量采购了ASML的DUV光刻机，那时候还没有出口限制，所以趁机“囤”了不少设备。

　　但自从华为Mate60系列手机发布后，美国加紧对荷兰施压，让ASML撤销对中国的部分设备出口许可，没发货的设备直接被拦了下来。

　　ASML 2023年财报显示，去年中国企业买到的光刻机，大多是2022年就下的订单。从2024年1月开始，中国的敏感芯片工厂就不能再买到1970i及以上型号的浸润式光刻机了。

　　行业分析认为，虽然现在买不到最新设备，但中国企业之前已经积攒了不少光刻机，这些机器是中国能生产14纳米到7纳米芯片的关键。

　　今后，中国企业还得继续依赖这些进口设备和多重曝光技术，设备的维护和升级也变得特别重要。

　　美国想“卡脖子”，但实际效果并没有那么大。ASML光刻机里有40%的零件都是德国、日本和法国造的，根本不靠美国技术。

　　中国的大厂也早有准备，像镜头、光栅、密封圈这些易耗件，库存能撑三到五年。更重要的是，国产替代正在加速，2021年国产化率只有7%，到2025年预计能提升到31%。

　　有些关键光学部件，国内厂家已经能仿出来了，虽然还比不上进口货，但应急用完全没问题。

　　有意思的是，这些改造升级不是靠官方大项目推动的，而是车间里的工程师们自己琢磨出来的。

　　他们自发组了个改装小组，里面有以前在ASML干过的工程师，有高校的博士，还有退休的军工专家。大家私下建个群，互相分享参数，还用AI分析机器的振动，提前发现可能的故障点。

　　对于部分非敏感易耗件，国内企业通过合规的第三方贸易渠道采购，优先选择未被纳入出口管制清单的替代配件。

　　这让我想到上世纪八十年代日本半导体受美国打压时，曾通过优化设备工艺、提升良率弥补技术差距，最终在 DRAM 领域取得市场优势，但当时日本可获得先进设备，且聚焦的是成熟制程优化，与当前中国面临的设备封锁困境存在本质差异。

　　而现在中国的路不太一样，不追求最先进的光刻机，而是专注把手头的老机器调得更准、更稳定，这就是实打实的工程师智慧，靠土办法也能破局。

　　有人问，这样用设备会不会坏得更快？确实，停机次数比以前多了，但工厂之间会互相支援，比如中芯国际、长江存储、华为海思这些企业，谁家缺设备就临时调过来用，靠大家协作顶住压力。虽然不能保证完全没问题，但也没人真的停产过，毕竟芯片厂不能停，这是底线。

　　其实最厉害的不是那些高大上的技术，而是“没有退路就自己想办法”的这股劲。美国以为卡住设备就能压住中国芯片产业，结果发现中国人能把旧机器玩出新花样。

　　这里没有什么传奇英雄，只有那些埋头干活、调参数、拧螺丝的普通工程师。他们不喊口号，只是专心把问题一个个解决掉。

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