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路维光电股价上涨284% 半导体光刻技术研发取得进展截至2025年8月14日15时，路维光电股价报42.66元，较前一交易日上涨1.18元，...
2025-08-16 阅读（649） 标签：半导体光刻技术 -
国产电子束光刻技术实现突破 高端光刻装备破局国产高端光刻装备“羲之”电子束光刻机的问世，标志着中国在半导体设备领域取得了重要突破。这...
2025-08-16 阅读（835） 标签：半导体光刻技术 -
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9 大基金三期再度出手 投了光刻工艺核心原材料 11-01
