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中国光刻机大突破!绕开ASML EUV封锁已有2个方案了
ASML的EUV光刻机,已经能够制造2nm的芯片。而我们还在ArF阶段,也就是干式DUV光刻机,之后还有浸润式DUV光刻机,还有EUV光刻机,落后好...
2025-08-15 阅读(699) 标签:纳米制造技术 -
全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”半导体ETF涨超25%冲击4连涨
消息面上,近日,作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入...
2025-08-15 阅读(565) 标签:半导体光刻技术 -
几乎看不见:5纳米以下的缺陷检测技术如何发展?
检测5纳米以下的缺陷给芯片制造商带来了巨大挑战,这些挑战会直接影响芯片的良品率、可靠性和盈利能力。 除了缺陷尺寸更小、更难检测之外,它们还...
2025-08-15 阅读(876) 标签:纳米制造技术
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建行金融支持科技企业共赴“芯”辰大海 11-01
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大基金三期再度出手 投了光刻工艺核心原材料 11-01
