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全球半导体行业:阿斯麦(ASML)——DRAM技术变革引发光刻业务逆风!
发布于 2025-10-08 10:35 阅读()
伯恩斯坦-全球半导体行业:阿斯麦(ASML)——DRAM技术变革引发光刻业务逆风
◦ DRAM行业正经历两轮关键技术迁移:首先是晶体管向3D/垂直结构转型(即从当前6F²架构转向4F²架构),后续将实现全3D DRAM堆叠。这两大变革将显著削弱极紫外光刻(EUV)在DRAM领域的使用强度,打破当前增长趋势。
◦ 6F²向4F²迁移(预计2028年左右):通过垂直布置晶体管,4F²架构可将DRAM单元面积缩小约30%,同时允许特征尺寸(F)从9nm回升至11nm(倒退1-2代),直接降低EUV需求。据东京电子(TEL)数据,4F²架构下EUV层数可减半;SK海力士表示其EUV成本或降至6F²架构的50%,即便保守估算EUV层数减少幅度,2028年后DRAM领域EUV出货量也将陷入停滞。
◦ 3D DRAM转型(预计2030年代初后):借鉴3D NAND思路,通过垂直堆叠存储单元提升密度,无需缩小特征尺寸。据Yole数据,3D DRAM特征尺寸将回升至20-25nm,彻底无需EUV。中国因EUV进口受限,对3D DRAM研发动力强烈,但该技术难度高,短期内难以落地,却是长期投资者需关注的核心威胁——未来5年DRAM贡献ASMLEUV总出货量的35%-40%,若EUV被替代,影响显著。
◦ 短期(1-2年)利好:三星获特斯拉订单、英特尔获投资、AI需求强劲、SK海力士采购高数值孔径(High NA)EUV设备等因素,对ASML业绩有支撑。
◦ 长期(2030年前后)承压:一是DRAM领域4F²与3D DRAM持续削弱EUV需求;二是逻辑芯片领域EUV使用强度因全环绕栅极(GAA)技术转型而下降;三是中国市场风险。伯恩斯坦EUV模型显示,受DRAM技术转型影响,ASML EUV业务增长将在2030年前后放缓,且其当前33倍市盈率(P/E)已无估值优势。
◦ 三星与SK海力士:计划2027-2028年(D0a节点)推进4F²架构量产,三星称其为垂直沟道晶体管(VCT),SK海力士称其为垂直栅极(VG);后续将逐步向3D DRAM过渡,且早于2011年就开始申请3D DRAM专利,技术积累深厚。
◦ 美光(Micron):拟跳过4F²架构,直接转向3D DRAM。因美光在D1c节点才采用EUV(晚于韩企),可继续增加EUV层数至2代后再转型;且其3D DRAM专利储备最丰富(截至2022年8月超30项),远超三星(不足15项)和SK海力士(约10项),或成3D DRAM领域先发者。
◦ 中国厂商(长鑫存储、长江存储等):受EUV进口限制,无法突破D1b等效节点,因此积极研发4F²架构以实现“无EUV缩小”,长期寄望3D DRAM摆脱技术限制,但专利与技术积累落后于全球三巨头(三星、SK海力士、美光)。
◦ 先进封装与刻蚀/沉积设备受益:4F²架构需采用晶圆对晶圆(W2W)键合技术(如CMOS直接键合阵列CBA),利好DISCO(晶圆研磨设备市占率领先)和东京电子(TEL,W2W键合市场份额超20%,目标2030年该业务规模达3000亿日元,2025-2030年CAGR 24%)。
◦ 原子层沉积(ALD)与外延(Epi)设备需求激增:4F²垂直结构需更K8凯发官网平台入口复杂的刻蚀(高深宽比沟槽/柱体制造)与沉积工艺,ASML国际(ASM International)为核心受益者。据其预测,2024-2030年ALD市场规模将从30亿美元增至51-61亿美元(CAGR 9%K8凯发官网平台入口-13%),外延市场从15亿美元增至25-32亿美元(CAGR 9%-13%),且ASML国际在ALD领域市占率超55%,计划巩固逻辑芯片优势并扩大存储芯片份额。
◦ ASML(代码:ASML/ASML.NA):评级“与市场持平(M)”,目标价分别为743美元、640欧元。
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