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台积电光刻技术革新:ILT逆向光刻加持2纳米制程加速推进!

发布于 2025-11-13 20:16 阅读(

  

台积电光刻技术革新:ILT逆向光刻加持2纳米制程加速推进

  台积电,作为全球领先的晶圆代工巨头,持续引领着半导体制造技术的革新。 近日,关于台积电在光刻技术上的最新进展引发广泛关注。 结合来自PCgamer的报道以及其他行业信息,台积电正积极推动逆向光刻技术(ILT:Inverse Lithography Technology)的应用,以加速2纳米及以下制程的量产,并巩固其在先进制程领域的领先地位。 这一举措不仅关乎芯片制造的效率与良率,更预示着未来GPU

  ILT并非一项全新的技术,但台积电和英伟达的合作,赋予了这项技术全新的生命力。 传统的芯片制造,在面对极紫外光(EUV)光刻时,会因光线在复杂光学系统中的衍射和畸变而产生缺陷。 传统的修补方式较为被动,而ILT则利用人工智能(AI),从逆向角度解决问题。 它首先模拟光线在ASML光刻机中的传播路径,以及与晶圆上光刻胶的反应。 之后,在确定芯片设计图案后,AI会逐像素生成光学掩模图像。 这使得ILT能够生成看起来“奇特”的掩模,但最终却能带来更精准的芯片制造,即使存在一些缺陷也能被有效控制。 英伟达的cuLitho计算光刻平台,以及曲线掩模技术的应用,是ILT得以实现的关键。 英伟达还开发了应用生成式人工智能的算法,以进一步提升cuLitho计算光刻平台的价值,与加速计算相结合,让工作流程提升了额外两倍的速度。台积电董事长兼首席执行官魏哲家表示:“我们与英伟达合作,将GPU加速运算整合到台积电的工作流程中,从而实现了性能的巨大飞跃,大幅提高了吞吐量,缩短了周期时间,并降低了功耗要求。”

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  台积电即将推出的N2制程(即2纳米制程)将率先采用ILT技术,尽管目前仅应用于少数掩模层。 随着ILT技术的全面应用,未来GPU等高性能芯片的性能有望得到显著提升。 值得注意的是,台积电在先进制程上的投入是全方位的。 除了ILT,台积电还持续提升EUV光刻机的效率。 通过系统级优化及自研薄膜材料,台积电的EUV生产晶圆产量在过去几年里大幅增加。 同时,台积电也在积极研发1.4纳米制程,并计划于2028年左右开始量产。 为了支持1.4纳米制程的研发,台积电在新竹工厂启动了相关研发项目。 这种技术和材料的整合能力,使得台积电在成本控制和产能扩张上都具备优势。

  台积电在光刻技术上的持续投入,无疑将进一步巩固其在全球晶圆代工市场的领先地位。 与此同时,竞争对手如三星也在积极追赶,不断加大在EUV光刻技术和先进制程领域的投入。 集邦咨询Trendforce最新分析显示,台积电在先进制程领域的专利申请持续攀升,光刻技术专利数量近乎翻倍。 随着2纳米和1.4纳米制程的逐步量产,台积电将继续扩大其在高端芯片制造领域的优势,并吸引更多来自苹果、AMD、英伟达等客户的订单。 台积电的这一系列举措,能否帮助它在未来的竞争中保持优势? 欢迎在评论区留下你的看法!