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国产光刻机迎来突破?350nm步进光刻机发运了!

发布于 2025-11-27 19:55 阅读(

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国产光刻机迎来突破?350nm步进光刻机发运了

  ASML稳居“大哥”位置,从高端EUV到中低端浸润式光刻机全覆盖,尤其在EUV领域全球独一份。尼康主攻中端,佳能和上海微电子则集中在低端市场。

  从技术代际看,ASML已推进至第六代EUV光刻机,尼康、佳能及上海微电子明显落后很多的。

  光刻机为何是芯片制造的“命门”?因为它是目前唯一能实现大规模量产的技术方案。

  电子束、纳米压印等方法虽能小批量生产,但效率低、成本高,无法满足手机、电脑等消费电子的巨量需求。所以对中国芯片产业而言,研发自主光刻机是绕不开的“必答题”。

  近日,国产光刻机领域传来新进展:某国产企业成功研发首台350nm步进光刻机,完成出厂调试后已发往客户现场。

  从技术参数看,350nm分辨率属于第二代步进光刻机,而ASML已推出第六代EUV光刻机。但需结合具体应用场景理性看待这一突破——这台设备并非用于高端逻辑芯片,而是专门针对碳化硅芯片制造。

  碳化硅作为第二代半导体材料,正广泛应用于5G通信、新能源汽车、光通信、激光雷达及Micro LED等关键领域。这些场景对芯片工艺的要求与高端逻辑芯片不同,更注重高精度、高稳定性,而非极致的线nm步进光刻机恰恰契合了碳化硅芯片的制造需求,不能简单以“分辨率低”判定其技术价值。

  研发该设备的芯上微装公司,源自上海微电子分拆,继承了母公司的技术积累与订单资源,技术实力扎实。这一背景为其后续研发与市场拓展提供了有力支撑。

  补上关键一环。尽管与ASML等国际巨头仍存在代际差距,但在一些细分领域的应用突破已展现出国产光刻机的独特价值。展望未来,随着国产光刻机技术的迭代升级与产能提升,中国芯片产业有望在更多领域实现

  。这不仅关乎产业安全,更将推动5G、新能源等战略产业的健康发展。国产光刻机的每一步突破,都在为“中国芯”注入新的底气。现在,整个行业都在期待:当国产光刻机在更多细分领域站稳脚跟,中国芯片产业的“卡脖子”问题或将迎来系统性解决的契机。