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开悦半导体取得一种环境控制等级分区的涂胶显影机专利精密控制区域与光刻胶区域间互不影响!
发布于 2025-12-07 15:46 阅读()
国家知识产权局信息显示,合肥开悦半导体科技有限公司取得一项名为“一种环境控制等级分区的涂胶显影机”的专利,授权公告号CN 223624508 U,申请日期为2025年2月。专利摘要显示,本实用新型涉及涂胶显影机技术领域,公开了一种环境控制等级分区的涂胶显影机,包括晶圆盒站、多功能模块、热板单元、工艺机械臂一与工艺机械臂二、旋转单元以及接口站,所述旋转单元与热板单元之间布置有中间单元,所述热板单元、工艺机械臂二与所述接口站连接组成光刻胶区域,所述旋转单元相对于工艺机械臂一对称布置作为精密区域,所述晶圆盒站、多功能模块、旋转单元的工艺机械臂一作为一般清洁区。本实用新型,通过涂胶显影设备的架构进行重新构思,k8凯发集团完成涂胶显影设备的环境进行分区控制,精密控制区域与光刻胶区域间互不影响;通过使旋转单元与热板单元两环境区域相互区隔,旋转单元不会对热板单元造成影响。
天眼查资料显示,合肥开悦半导体科技有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3882.17296万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥开悦半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目29次,财产线条,此外企业还拥有行政许可9个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
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