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我国光刻机从世界前列到落后世界20年根源就四个字:造不如买?!
发布于 2026-01-10 16:15 阅读()
但后来一转眼,差距拉开二十年,这中间的弯弯绕绕,归根结底就四个字:造不如买。
1956年,国家制定科学技术发展规划,把半导体列为重点,目的是造计算机,帮着完成两弹一星的计算任务。
1962年,第一代硅平面晶体管诞生,这就需要光刻技术支持,说明那时中国已经初步掌握光刻工艺。
1965年,中科院微电子研究所和上海电子仪器厂合作,推出65型接触式光刻机。
这台设备跟美国GCA公司第一台光刻机只差四年,那时候阿斯麦尔还没影儿,台积电更不用提。中国比日本起步差不多,比韩国和中国台湾早十年。
这台机手动操作,精度到微米级,能做小规模电路。虽然芯片产业链还没大规模起来,应用不多,但积累了光学和曝光经验。
1977年5月,江苏吴县开全国光刻机座谈会,42家单位67人参加。会上定下目标,以国际先进水平为标杆,组织全国力量攻关,加强技术情报工作。
1985年,中电科45所推出步进式光刻机,性能跟美国1978年水平相当,差距七年。
他是半导体开拓者,1956年创建国内第一个半导体研究室,拉出第一根锗单晶,领导研制首批锗合金结晶体管。
1960年,他筹建中科院半导体研究所,任副所长,建立全国首个半导体测试中心。
1978年,他主持大规模集成电路项目,成品率逐步提升。他的工作奠定中国半导体基石,推动光刻早期进展。
原来买不到的东西突然能买到,光刻机研制复杂,资金需求大,短期难见效。进口设备到手就能用,生产线快速运转。
依赖进口成常态,国内研制资金缩减。决策者比较国产与进口成本,签署采购合同。
光刻机从领先滑向落后,差距拉大到20年。买办群体从中获利,忽略长期技术积累危害。
八十年代,中国科技政策调整,强调引进新技术设备,扩大进出口。但引进重点放在设备上,忽略消化吸收。
政策推动外资和技术引进,但外贸体制改革初期,外贸公司统负盈亏,工业企业不直接参与,造成出口产品质量差。
外贸体制改革,经营权下放,出口承包责任制。但光刻领域,国外垄断加剧,阿斯麦尔崛起。中国进口多,自主弱。
2000年后,全球光刻市场几家垄断,阿斯麦尔占大头。2010年代,国外到7纳米以下,中国主流28纳米。
2002年,国家重启光刻机专项,成立上海微电子装备公司。团队从45所调入,推出90纳米机型。但核心部件受限,进口渠道收紧。
2016年,量产90纳米、110纳米和280纳米机型。2018年,中科院超分辨光刻装备验收,分辨率达22纳米。
2024年,工信部推广氟化氩光刻机,波长193纳米,分辨率≤65纳米,套刻精度≤8纳米,晶圆直径300毫米。
这比上海微电子90纳米进步,但与阿斯麦尔最新NXT:2100i分辨率38纳米、套刻精度0.9-1.3纳米相比,差距明显。
当前,中国光刻机在DUV领域有突破,但EUV仍攻关中。上海微电子能量产90纳米分辨率机型,28纳米有希望国产化。
多重曝光下,能实现14纳米量产。但高端EUV光刻机核心部件禁运,光学镜头、光源等依赖美国和欧洲。
尼康和佳能早放弃更先进研究,业务在中低端。阿斯麦尔成功靠资金和技术积累,1995年上市后发展快,2010年首台EUV机型。
八十年代开放,买办思想上头,觉得买现成省心。结果技术空窗,人才散,产业链断。国外封锁时,就卡脖子。像华为芯片事件,暴露问题。
中国半导体起步与美国差七年,但“造不如买”思路影响,产业被打压。九十年代,技术引进成双刃剑,引进资本发展快,但依赖增加,制裁时难招架。
现在,中国摒弃“造不如买”,聚焦自主研发。国产光刻机有进展,但积累需时间。
高盛报告说,中国缺乏先进光刻扫描仪能力,零部件全球生产,主要在美国和欧洲。ASML从65纳米到3纳米,花20年,投400亿美元。中国追赶需类似投入。
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