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01nm光刻!又有一家企业想要颠覆ASML的EUV光刻机!
发布于 2026-03-27 04:56 阅读()
因为任何大规模的7nm以下的芯片制造,都离不开EUV光刻机,只有它能够实现低成本的,大规模的制造。
而EUV光刻机,全球只有一家企业能够制造,那就是荷兰的ASML,这让ASML处于整个半导体产业链的最顶端。
也正因为如此,所以全球众多的企业,都想研发出新的技术,来挑战甚至颠覆EUV光刻机。
比如日本佳能在搞的NIL纳米压印技术,就是想绕过EUV,制造5nm及以下的芯片,但说实话,纳米压印还制造不了复杂的,大规模的芯片,只能用于小批量的简单的芯片制造。
另外美国还有BEL电子束光刻技术,欧洲还有DSA自生长技术,俄罗斯甚至还搞了X射线技术,都是想绕过EUV的,但目前还没有谁成功了。
这家企业就是挪威的公司——Lace Lithography,它想用一种全新的叫做原子光刻(BEUV)的技术来挑战这一格局。
这种技术与EUV不一样,它是直接采用一种宽度仅为0.1nm的氦原子束进行光刻。
宽度越小,那么分辨率就越高,大家想一想EUV的光线nm,而这种氦原子束的宽度仅为0.1nm,意味着可直接制造1nm以下芯片,都不需要多重曝光。
并且用这种原子光刻,无需传统的掩模和反射镜,甚至也不需要什么光刻胶,是直接在硅晶圆上进行图案化。
Lace甚至表示称,这种技术,领先当前EUV技术15年,是一种颠覆性的技术,它分辨率更高,成本更低、能耗更低,一旦实现,整个芯片产业,都向前跃进一大步。
但是,目前该技术当然没有量产,而Lace也只是一家初创企业,起步也不久,不过目前已经融到了近5000万美元作来研发。
Lace表示,目前已经研发了出了原型机,在2029年时会与晶圆厂合作进行测试。
不过对于这个所谓的技术,行业人士并不看好,觉得不过是噱头而已,因为利用原子直接光刻机,其功能会非常小,产能会非常有限,不可能用于大规模的芯片制造,不可能颠覆EUV。
但不管怎么样,在光刻机市场有着众多的挑战者,也能够给用户更多选择,不至于让ASML真正的一家独大。返回搜狐,查看更多
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