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国润半导体取得光刻机晶圆平边预定位装置专利可以使晶圆可以更好的与旋转装置贴合!
发布于 2026-04-01 16:00 阅读()
国家知识产权局信息显示,扬州国润半导体科技有限公司取得一项名为“一种光刻机的晶圆平边预定位装置”的专利,授权公告号CN224067133U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置,该光刻机的晶圆平边预定位装置,包括工作台,所述工作台上表面固定连接有安装架,所述工作台上表面设置有旋转装置,所述安装架底部固定连接有光纤传感器,所述旋转装置上表面设置有晶圆,所述工作台上表面设置有定位装置,为了使晶圆受到过大的压力而受损,将晶圆放置在旋转装置上表面处,让晶圆外表面与活动辊外表面相接触,且转动螺纹杆让L形活动件向下移动,进而让活动辊外表面设置的弧形外表面与晶圆外表面靠近顶部的边角处相接触,从而可以使晶圆可以更好的与旋转装置贴合,并且这样让晶圆在进行放置在旋转装置上表面处的时候可以进行预定位。
天眼查资料显示,扬州国润半导体科技有限公司,成立于2018年,位于扬州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,扬州国润半导体科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息29条,此外企业还拥有行政许可7个。
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