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东方证券:先进制程驱动光刻胶产品升级 重点关注ArF胶导入节奏!
发布于 2026-04-07 21:13 阅读()
智通财经APP获悉,东方证券发布研报称,根据弗若斯特沙利文数据,2028年境内半导体光刻胶市场规模将达150.3亿元,同时在高端市场JSR、TOK、信越化学等日巨头份额较高。随制程从成熟向先进迭代,叠加多重曝光技术使A胶用量提升。据TECHCET统计,目前ArF光刻胶(含浸没式)在全球半导体光刻胶市场中的价值占比接近50%。从国产化率来看,国内G线/I线光刻胶已实现较高自给率,KrF处于导入期,而ArF光刻胶国产化率极低。
光刻胶用在晶圆光刻环节,是把电路图案转移到硅片上的关键感光材料。根据弗若斯特沙利文数据,2028年境内半导体光刻胶市场规模将达150.3亿元,同时在高端市场JSR、TOK、信越化学等日巨头份额较高。其研发难点在于高分子精准聚合与结构设计,必须同时满足高分辨率、高感度、高刻蚀抗性与低缺陷。由于光刻胶性能和品质与芯片良率和可靠性密切相关,晶圆厂对其导入谨慎。
从导入节奏来看,一款光刻胶在晶圆厂的验证通常需要经历严格的四大流程:PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及Release(通过验证),验证周期较长。
按照曝光波长的不同,光刻胶主要分为G线nm)、I线.5nm)光刻胶。随制程从成熟向先进迭代,叠加多重曝光技术使A胶用量提升。据TECHCET统计,目前ArF光刻胶(含浸没式)在全球半导体光刻胶市场中的价值占比接近50%。从国产化率来看,国内G线/I线光刻胶已实现较高自给率,KrF处于导入期,而ArF光刻胶国产化率极低。
从进度来看,鼎龙股份ArF、KrF光刻胶已有3款产品进入稳定批量供应阶段,超12款进入加仑样测试阶段,其二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线已建成;彤程新材ArF光刻胶、KrF光刻胶等已陆续通过国内多家客户验证,并开始逐步实现切线上量;上海新阳已建成包括I线、KrF、ArF干法、ArF浸没式各类光刻胶在内的完整研发合成、配制生产、质量管控、分析测试平台,其中ArF浸没式光刻胶已有销售订单。
光刻胶属于配方型化学品,其主要成分包括成膜树脂、光引发剂、溶剂及添加剂。其中成膜树脂的质量占比最高,决定光刻胶的分辨率、耐刻蚀性及附着力等底层物理化学性能。目前KrF/ArF光刻胶核心材料树脂、单体、光致产酸剂以及淬灭剂等的供应商里日企较多。若上游树脂断供,下游光刻胶配方厂将面临生产困难,因此树脂材料自主可控重要性不亚于光刻胶成品。
目前国内企业正加速向产业链上游迭代,其中圣泉集团G线/I线光刻胶用酚醛树脂已实现量产,KrF光刻胶用PHS树脂等产品处于市场导入阶段;八亿时空百吨级半导体KrF光刻胶树脂高自动化柔性/量产双产线顺利建成并已开始量产;彤程新材部分光刻胶产品已成功使用自研树脂并实现商用。
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