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阿斯麦CEO:销往中国光刻机落后尖端技术十年!
发布于 2026-04-30 15:59 阅读()
阿斯麦CEO克里斯托弗·富凯在接受荷兰媒体NRC采访时说得毫不含糊——"通过禁止出口EUV,中国将落后西方10到15年"。这线年底说出来,带着一股居高临下的味道。
可到了2026年4月,事情远比一句话复杂得多。封锁的刀锋已经从EUV延伸到了DUV,从"不卖新设备"升级到了"不让你用旧设备",围绕光刻机的这场暗战,正进入一个前所未有的残酷阶段。
先把来龙去脉捋清楚。在《瓦森纳协定》框架下,阿斯麦从未向中国交付过EUV光刻机。这条线卡得很早也很死,哪怕中芯国际据传曾下过一台EUV的订单,也没能拿到手。
阿斯麦持续向中国出口的是先进DUV光刻设备,比如Twinscan NXT:2000i,中芯国际正是靠着这类设备,用多重曝光的办法,硬是在7纳米制程上杀出了一条路。但富凯很清楚,这条路走不远——成本太高、良率不够,根本不是跟EUV竞争的长期方案。
富凯说中国"落后10到15年",依据是什么?阿斯麦及其合作伙伴花了超过20年时间,才从基础研究走到成熟的EUV商用设备。
德国蔡司的超精密光学系统、美国的高功率激光光源、荷兰本土积累的系统集成能力,这套生态不是砸钱就能复刻的。EUV光源需要产生13.5纳米波长的极紫外光,整套系统研发投入累计超过100亿欧元,这道技术护城河的深度,确实让任何追赶者望而生畏。
但2026年4月的局势,已经不只是"追不追得上EUV"的问题了。4月2日,美国两党议员正式提出《硬件技术控制多边协调法案》(MATCH法案),核心就是把管制范围从EUV扩展到全系列浸没式DUV光刻机。
这意味着连中国目前赖以维持成熟制程产能的主力设备,都可能被彻底切断供应。更要命的是,这份法案的打击面不止于新设备。
MATCH法案最狠的一条,是禁止全球企业对中国已售设备提供安装、维修、保养、备件、软件升级、远程校准和技术培训。
光刻机是人类造出来的最精密的工业装备之一,每一台都价值数亿美元,它绝不是买回来放在那儿就能一直跑的。缺了原厂维护,精度下滑、良率下降、产能衰退是必然趋势。这招叫"釜底抽薪",比不卖设备更阴。
法案还精准点名了中芯国际、华为海思、长江存储、长鑫存储和华虹集团五家中国半导体龙头,要求对这些企业及其关联公司实施全面封锁。更夸张的是,法案强制要求荷兰、日本、韩国在150天内与美国管制标准完全对齐,否则将启动"外国直接产品规则"进行长臂管辖。这已经不是建议了,这是强按盟友的头。
4月22日,美国众议院外交事务委员会以两党压倒性支持票通过了这套法案,这说明在对华科技封锁这件事上,民主党和共和党完全站到了一起。而且有意思的是,特朗普计划5月中旬访华,国会在这个节骨眼上猛推法案,多少有点绑住总统手脚、防止"对华松口"的意思。封锁的政治意志,比很多人想象的要坚硬得多。
从阿斯麦的财务数据就能看出封锁的现实冲击。中国在2025年贡献了阿斯麦总销售额的33%,是其全球最大单一市场,但管理层预计这一比例在2026年将降至约20%。而刚出炉的2026年一季度报告显示,中国在系统销售中的占比已经掉到了19%,这个下滑速度比预期来得更快。阿斯麦嘴上说影响可控,但数字不会说谎。
不过阿斯麦自己的处境也挺拧巴的。有批评者指出,出口管制可能适得其反,反而加速中国的自主替代进程。阿斯麦其实心里明白这个道理——它更愿意继续给中国客户的设备提供维护服务,因为一旦完全撤出,中方可能被迫接管设备维护,由此产生的逆向工程和技术泄露风险才是阿斯麦最担心的。它宁可赚着服务费看住自己的技术秘密,也不想把这块业务拱手让出去。
为了应对限制,阿斯麦甚至计划在2026年第四季度推出一款专为中国市场设计的新型浸没式DUV设备NXT:1965i,由1980i系列降规而来,既符合出口管制,又能满足中国存储芯片厂商的需求。你看,一边是美国国会想把对华技术大门焊死,一边是阿斯麦自己在那儿想方设法从门缝里递东西进来。商业利益和政治意志之间的撕扯,在这家公司身上展现得淋漓尽致。
那中国这边呢?面对越来越紧的绞索,自主研发的动静也越来越大。2025年底,路透社报道称中国科研团队在深圳一间高度保密的实验室里组装完成了首台EUV光刻机原型,已经成功产生极紫外光。虽然这台原型机体积庞大,也远未能制造出可用芯片,但它的出现本身就是对"10年差距"论的一次正面回应。中方的目标是2028年实现原型芯片试产,更现实的量产预期则可能要到2030年左右。
当然,保持清醒很重要。外界评估显示,中国原型机在高精度光学系统上仍存在明显短板,尚无法将极紫外光精准投射到晶圆上完成光刻成像。而EUV光刻机包含超过10万个零部件,涉及全球5000多家供应商的协同,这种系统集成的复杂度是实验室突破远远无法覆盖的。从"能亮"到"能用",中间隔着的不只是时间,还有无数个子系统的工程化攻关。
但另一组数据同样值得关注。2026年前两个月,中国集成电路出口总额高达433亿美元,同比暴涨72.6%。这说明在成熟制程领域,中国芯片产业不仅没有被封锁打垮,反而在全球供应链中越扎越深。中芯国际、华虹等企业的12英寸产线大规模投产,配合新能源汽车、物联网、智能制造等产业的全球需求,中国的成熟制程芯片正在成为全球工业体系里不可或缺的一环。
上海微电子的DUV光刻机已在28纳米制程上稳定量产,并逐步向14纳米乃至7纳米工艺验证过渡。这条路虽然不够"性感",不像EUV那样代表尖端,但它构成了中国芯片产业的底盘。先稳住底盘再往上攻,这是被逼出来的务实策略,也确实在产生效果。
我的判断是,西方的封锁已经进入"第二阶段"——从限制增量转向削减存量。MATCH法案的核心逻辑就是:设备坏一台少一台,零件用完了没处补,产能自然慢慢枯竭。这是一个跟时间赛跑的游戏,美方赌的是在中国实现全面自主替代之前,先把现有产能拖到半废状态,从而拉大技术差距。
而中国赌的则是另一条时间线:在现有产能衰减之前,把自主研发的替代方案推到可用状态。业内规划目标是在"十五五"期间(2026-2030年)实现7纳米全国产化生产线试运行。这个目标听起来雄心勃勃,实现起来困难重重,但至少方向是清楚的——不能把命运寄托在别人的善意上。
回到阿斯麦CEO的那句线年,这个判断在技术层面或许有其道理。阿斯麦已经启动了下一代Hyper NA EUV的研究,对未来10到15年的技术路线有了大致概念,等中国追上今天的EUV,人家可能已经跑到了更远的地方。这是客观事实,不必回避。但问题在于,芯片竞争从来不只是光刻机一条赛道,成熟制程的规模化、应用生态的丰富度、算法层面的优化弥补,都是改变竞争格局的变量。
封锁越狠,反噬也越大。DUV限制初期反而引发了中国客户的抢购潮,阿斯麦在中国的销售额一度暴涨。现在禁令升级到维修服务层面,可以预见的是中国对自主设备和自主维护能力的投入会更加疯狂。每一次加码,都是在给中国产业链的自主化按下加速键。这个"加速效应"是华盛顿的政策制定者们不愿承认、却无法忽视的事实。
阿斯麦CEO说要"让中国继续落后",销往中国的光刻机"落后尖端技术10年"。这话当下是事实描述,但放到更长的时间尺度来看,它更像是一个挑战——一个丢给中国半导体产业的、不得不接的挑战。这场围绕光刻机的博弈还远没有到终局,谁能撑到对方先犯错的那一天,谁就握住了主动权。
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