咨询电话: 13704000378
四元数半导体申请光刻机对位方法等相关专利提高光刻机对位的精确度和可靠性!
发布于 2025-07-28 14:40 阅读()
金融界2025年7月28日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市四元数半导体有限公司申请一项名为“光刻机对位方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN120370642A,申请日期为2025年06月。
专利摘要显示,本发明涉及光刻机对位技术领域,公开了一种光刻机对位方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括:对晶圆表面上预设的多个小尺寸对准标记进行图像采集和空间配准,得到虚拟大标记图像;分别采用紫外光源和红外光源,对所述虚拟大标记图像的目标区域进行双光源成像,得到紫外光图像组和红外光图像组;对所述紫外光图像组和所述红外光图像组进行多级模糊判别和空间感知双注意力处理,得到多层次优化特征集合;根据所述多层次优化特征集合执行引导滤波和自适应参数融合,得到最佳对位坐标,并基于所述最佳对位坐标驱动光刻机执行对位操作。
天眼查资料显示,深圳市四元数半导体有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市四元数半导体有限公司专利信息3条,此外企业还拥有行政许可2个。
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
天津一景区公然播放盗摄版《罗小黑战记2》,网友质疑“没丁点法律意识”,片方回应:在处理了
高分考生被厦门大学马来西亚分校误录取:已有16人决定复读,通知短信为“已录取厦门大学”
WNBA球员能打败NBA球员吗?女篮队员:不可能 你不懂进NBA有多难
区域教育数字化转型 湖北恩施土家族苗族自治州咸丰县:数字赋能增活力,城乡联合促均衡
丽台预售英伟达桌面 AI 超算 DGX Spark:1TB SSD 款 29500 元
PC鲜辣报:首款6nm国产GPU发布 曝RTX 5090 D V2下周发
现在买显卡你会选什么:万人投票结果超半数选择RX 9060 XT 16GB!
新闻资讯
-
碲基光刻胶破垄断清华光刻胶改写 07-28
-
2025武汉芯片及半导体产业展 07-28
-
清华大学突破EUV光刻胶技术瓶 07-27
-
无掩膜光刻技术:推动半导体制造 07-27
-
半导体制造工艺中的光刻技术pp 07-26
-
国产率飙至45%!中方3440 07-26
-
清华团队光刻胶技术突破阿石创涨 07-26
-
光刻机指数震荡走强高“设备”含 07-26