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清华大学EUV光刻胶材料取得重要进展 新型聚碲氧烷光刻胶问世该研究提供了一种融合高吸收元素Te、主链断裂机制与材料均一性的光刻胶设计路径，有望推动下...
2025-08-02 阅读（938） 标签：半导体光刻技术 -
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凭一国之力造出光刻机意味着什么？或将成第四次工业革命引领者中国半导体产业又被卡脖子了。荷兰ASML公司的最新财报显示，2023年第三季度向中国出货...
2025-08-02 阅读（595） 标签：半导体光刻技术 -
国产光刻胶良品率飙升半导体材料自主化迈出关键一步在全球半导体产业的风云变幻中，中国正以惊人的速度迎头赶上。近日，国产光刻胶良品率的显著提...
2025-08-02 阅读（777） 标签：半导体光刻技术
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