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彻底不装了?ASML:中国光刻机技术是“偷”来的外媒:简直可笑!

发布于 2025-11-26 07:49 阅读(

  

彻底不装了?ASML:中国光刻机技术是“偷”来的外媒:简直可笑

  夜色刚散,费尔德霍芬的街灯还没熄,ASML的logo却已在全球财经版面跳动,把中国研发人员推上了风口浪尖。

  过去十年,芯片博弈的舞台从设计转到了装备。逻辑很简单:没有极紫外光刻机,3纳米以下只是纸上谈兵。ASML凭借蔡司光学、Cymer激光和自研真空平台,把这台接近航天级难度的设备卖到每台1。6亿美元;台积电、三星、英特尔全靠它吃饭。于是,一家欧洲公司突然拥有了决定东西方数字经济节奏的按钮。

  ASML单年营收近300亿欧元,EUV设备毛利高达50%,全球只有它能量产,技术壁垒横跨19国供应链。

  媒体常引用的“泄密案”其实先发生在内部。2023年,ASML自查发现,一位中国籍工程师离职前挪走了光学与流程数据库的若干文件。文件存放在Teamcenter系统,权限原本只用口令就能打开。这名工程师复制的是部件装配参数和真空腔调校脚本,足够让任何同行在原型机阶段少走数百小时弯路。事件被报给荷兰出口管制局,美国商务部技术安全办公室也插手核查。最终调查结论只有一句:资料外流属实,无法证明背后有国家支持。温尼克在财报电话会上淡化影响,说“只是一块拼图”,但内部已经把所有核心文档迁到多因素认证的新平台,并引入异常行为检测算法。

  ASML对外公布的安全升级,使得单台EUV交货周期延长至21个月,客户排队时间再拉长5个月。

  接下来是针对中国企业的公开质疑。2022年,ASML年报直接点名北京东方晶源,怀疑其检测设备抄袭自ASML NXE:3400C。理由并非实物比对,而是东方晶源与已在美国败诉的XTAL存在前雇员重叠。ASML给出的“证据”更多是产品照片与专利图纸的外观相似度,对方马上回应:145件自有专利,核心镜头材料来自长春光凯发k8天生赢家机所,运动平台由哈尔滨某精机公司供货。中国监管机构随后约谈双方,至今没有公开裁定。

  政治牌却不能解释一个尴尬事实:2023年三季度,ASML对中国的DUV机销售额占公司总营收46%,远超前三年任何时期。荷兰议会内部会议纪要流出,可见高层担忧:“若一刀切,中国会火速转向自研,ASML五年内将失掉20%市场。”温尼克因此公开呼吁“精确管控而非全禁”,他甚至放话:“限制越严,越促成中国在光刻上下游全线开工。”

  呼吁没能凯发k8天生赢家阻止管制升级,中国却实打实加速了。从上海临港到合肥经开区,超过五家机构接手DUV关键单元研发。北京国望光学2022年破土的量产线纳米投影系统;天津光机所牵头的深紫外激光器项目已经在实验室达到50瓦功率;中芯南方把90纳米分辨率的国产浸没式DUV曝光机拉到产线%。

  工信部数据显示,2023年中国半导体装备本土化率从28%抬升到34%,目标是2025年超过50%。

  而在中国,西安电子科大团队正尝试用氦离子刻蚀替代极紫外,“先把掩膜环节革了命”。该工艺分辨力虽仍停留在实验室,但能在不依赖进口光源的情况下做到10纳米线宽,短线可补DUV与EUV的空档。多路径并进,正是中国式工程组织的一贯做法:哪条路通,就全力狂奔。

  最终格局或许不像想象中那样“非黑即白”。ASML未必乐见完全封堵,因为过度政治化会反噬其现金流;中国也不会一夜造出High-NA,但在28纳米及以上的主流制造节点,自给率正被一点点抬高。光刻机壁垒仍在,可护城河被不断蚕食,这是摆在所有人面前的冷事实。

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